1636年，蒙古24部49领主与大金文武百官在盛京（今沈阳）共推爱新觉罗·皇太极为“博克达彻辰汗”，蒙古语“宽仁圣皇”之意。爱新觉罗·皇太极将国号“大金”改“大清”。1644年，清顺治帝爱新觉罗·福临（母亲孝庄文皇后为蒙古科尔沁部孛儿只斤·布和之女）“迁都定鼎，作京于燕” 。清廷将较早内附的漠南蒙古各部称为“内札萨克蒙古”（札萨克，蒙古语“政府”、“执政官”之意），将后来陆续归附的喀尔喀、厄鲁特等部称为“外札萨克蒙古”，不设札萨克的察哈尔、唐努乌梁海等部称为内属蒙古，“内札萨克蒙古”后来演变为“内蒙古”一词。有专家认为“内蒙古”指漠南蒙古，“山的阳面”即“阴山的南面”，译“南蒙古”。
内蒙古行政区划的变迁
1624年，清太祖爱新觉罗·努尔哈赤按“八旗”组织原则，将归附的蒙古诸部在其原有社会制度基础上重新编制，也称“盟旗制度”。“盟”即是旗的会盟（清廷指定会盟处）组织，也是旗的监督机构。“旗”是行政、军事单位，也是清帝赐给旗内各级封建主的世袭领地。清廷在内蒙古地区设置了哲里木盟、卓索图盟、 昭乌达盟、锡林郭勒盟、乌兰察布盟、伊克昭盟等6盟、49旗与察哈尔总管旗、归化城土默特都统旗、呼伦贝尔都统旗、套西二旗（阿拉善厄鲁特旗、额济纳土尔扈特旗）等。
1911年10月10日，辛亥革命爆发。1912年2月12日，清朝末代皇帝爱新觉罗·溥仪颁发退位诏书，中华民国正式建立。1913年始，北洋政府在内蒙古地区分设热河、察哈尔、绥远等特别行政区。1925年10月13日，在共产国际指导下，在中国共产党和蒙古人民革命党的支持下，内蒙古民族民主革命者在张家口召开会议，成立了内蒙古国民革命党，也称内蒙古人民革命党。选举白云梯、郭道甫、金永昌、福明泰、乐景涛、包悦卿、李丹山为中央执行委员会常务委员；白云梯为中央执行委员会委员长，郭道甫为秘书长，金永昌为代理组织部长。（内蒙古人民革命党是第一次国共合作的产物，当时受中国国民党和中国共产党的双重领导。）
1928年，民国政府陆续将特别区升级为行省，在内蒙古地区设置热河、察哈尔、绥远、宁夏等行省，形成省县与盟旗并存局面。
1931年，“9·18事变”后，日军侵占了内蒙古东部地区。1932年3月，将内蒙古呼伦贝尔地区划归伪满洲国，设立伪兴安省。随后，将侵占的内蒙古哲里木盟、昭乌达盟、卓索图盟等地区划分为伪兴安东、南、北、西4个分省。12月17日，将呼伦、胪滨、室韦、奇乾4县划归伪兴安北分省；1933年1月19日，将雅鲁、布西、索伦3县（局）划归伪兴安东分省；将扎赉特旗划入伪兴安南分省。
1936年2月10日，孛儿只斤·德穆楚克栋鲁普（第16代苏尼特旗扎萨克郡王）纠集内蒙古亲日骨干，在锡林郭勒盟苏尼特旗的王府宣布成立伪蒙古军政府。孛儿只斤·德穆楚克栋鲁普任总裁、李守信（蒙古族）任伪蒙古军总司令。21日，在中共乌兰夫策划下，云继先、朱实夫等带领百灵庙驻军1000余官兵脱离孛儿只斤·德穆楚克栋鲁普，投入抗日阵营。史称“百灵庙起义”。“7·7事变”后，国民政府将由起义部队改编的绥远省蒙旗保安总队改编为蒙旗独立旅（后改编为新三师），白海风（蒙古族）任旅长、乌兰夫任政治部主任。
1937年8月27日，日军攻占察哈尔省省会张家口。9月4日，成立伪察南自治政府。9月13日，日军占领山西省大同。10月15日，成立伪晋北自治政府。10月14日，日军侵占绥远省省会归绥。10月28日，伪蒙古军政府改称伪蒙古联盟自治政府，将伪都归绥改名“厚和豪特”。11月22日，日本殖民者将伪蒙古联盟自治政府、伪察南自治政府、伪晋北自治政府合并，成立伪蒙疆联合委员会，孛儿只斤·德穆楚克栋鲁普任伪主席。1939年9月1日，改称伪蒙疆联合自治政府，定张家口为伪都。1941年8月4日，改称伪蒙古自治邦。1943年10月1日，伪满洲国撤销伪兴安东、南、北、西4个省，成立伪兴安总省，伪省会王爷庙。
1945 年8 月8 日，苏联和蒙古对日宣战。10日，伪蒙古军第九师开赴乌兰察布盟四子王旗乌兰花镇宣布起义，史称“8·10”起义（内蒙古骑兵第4师前身）。11日，伪兴安陆军军官学校600余学员在进步青年军官的带动下，举行武装起义，史称“8·11”葛根庙起义（内蒙古骑兵第1师前身）。14日，苏联红军占领王爷庙，前线司令马利诺夫斯基元帅任命博彦满都为兴安省省长。15日，随着日本无条件投降，伪蒙古自治邦与伪满洲国政府垮台。20日，中共领导的晋察冀军区向拒不投降的伪蒙古军发起进攻，解放张家口。11月10日，中共中央书记处电告晋察冀中央局并告晋绥分局贺龙、李井泉：“关于内蒙工作，同意你们先成立内蒙古自治运动联合会，宣布纲领，发动广大蒙民，准备将来建立内蒙古自治政府的方针。”25日，内蒙古地区各省县、盟旗代表在张家口召开会议成立内蒙古自治运动联合会。
1946年1月16日，经苏联红军驻王爷庙司令部同意，东部蒙古各界邀请中共代表在葛根庙召开东蒙古人民代表会议，成立以兴安、哲理木、昭乌达、卓索图四盟，呼伦贝尔地区、布特哈部、伊克昭盟、齐齐哈尔、苏鲁克3旗为管辖的东蒙古人民自治政府。3月1月，内蒙古人民革命党正式宣布解散。4月3日，内蒙古各界代表在承德召开会议，确认内蒙古地区必须在中国共产党的领导下，实行民族区域自治。5日，中共东蒙古工作委员会成立，张策任工委书记。5月26，经中共西满分局决定，召开东蒙古人民第二次临时代表会议，正式撤销东蒙古人民自治政府，成立内蒙古自治运动联合会东蒙古总分会，设置以呼伦贝尔、纳文慕仁、哲里木、兴安4盟为辖区的兴安省。10月11日，中共聂荣臻部撤出张家口。
1947年4月23日，在王爷庙举行内蒙古人民代表会议，来自内蒙古地区各省县、盟旗的蒙古、达斡尔、鄂伦春、鄂温克、汉、满、回、壮等各民族代表393人出席会议。会议通过决议，成立内蒙古自治政府，选举乌兰夫为主席。会议决定每年5月1日为内蒙古自治政府成立纪念日，撤销兴安省建制。11月26日，内蒙古自治政府决定将王爷庙改称“乌兰浩特”，蒙古语“红色城市”之意。
1948年11月12日，中国人民解放军收复承德。12月24日，占领张家口，解放热河、察哈尔两省。1949 年 3 月，在中共第七届中央委员会第二次全体会议上，乌兰夫向党中央提出了建国后“恢复内蒙古历史的本来面目”的政治呈请，得到党中央、毛泽东主席的支持。8月10日，孛儿只斤·德穆楚克栋鲁普召集旧部联合孛儿只斤·达理扎雅（第8代阿拉善旗扎萨克和硕亲王）在定远营（今阿拉善左旗巴彦浩特镇）组成西蒙古自治政府，孛儿只斤·德穆楚克栋鲁普任主席，孛儿只斤·达理扎雅任副主席。9月19日，国民党绥远省政府主席董其武率部起义，绥远省和平解放。20日，孛儿只斤·德穆楚克栋鲁普、李守信等逃往阿拉善旗西北部拐子湖一带。23日，中国人民解放军进驻银川，国民党宁夏守军马鸿宾等率部起义，宁夏省和平解放。同日，阿拉善旗扎萨克和硕亲王孛儿只斤·达理扎雅率部起义，阿拉善旗和平解放，西蒙古自治政府解散。1949年10月1日，中华人民共和国成立。12月2日，内蒙古自治政府改称内蒙古自治区人民政府，机关迁至张家口。30日，孛儿只斤·德穆楚克栋鲁普、李守信等越界进入蒙古人民共和国。1950年9月18日，被引渡回国。
1954年3月5日，内蒙古人民政府、绥远省人民政府委员会、绥远军政委员会、绥远省各界人民代表会议协商委员会在归绥市联合召开扩大会，绥远省建制和省人民政府同时撤销，原绥远省辖区并入内蒙古自治区，由内蒙古自治区人民政府领导。4月25日，将归绥市名恢复为呼和浩特，蒙古语“青城”之意，为内蒙古自治区首府。
1955年7月30日，撤销热河省，将翁牛特旗、喀喇沁旗、敖汉旗、赤峰县、宁城县、乌丹县划归内蒙古。4月3日，将甘肃省巴彦浩特蒙古族自治州和额济纳蒙古族自治旗划归内蒙古。1969年7月，将呼伦贝尔盟、哲里木盟、昭乌达盟划归黑龙江、吉林、辽宁，将阿拉善左旗、阿拉善右旗、额济纳旗划归宁夏、甘肃。
1979年5月30日，将黑龙江省的呼伦贝尔盟和大兴安岭地区的鄂伦春自治旗、莫力达瓦达斡尔族自治旗，吉林省的哲里木盟和白城地区的突泉县、科尔沁右翼前旗，辽宁省的昭乌达盟，宁夏回族自治区的阿拉善左旗，甘肃省的阿拉善右旗、额济纳旗，划归内蒙古自治区。
2）包头蒙古语“有鹿的地方”之意。相传这里水草丰美，常有成群的鹿出没而得名。
3）乌海又称“乌金之海”，也是乌海市辖乌达区、海渤湾区、海南区，三区名称的缩写组合。
4）呼伦贝尔；“呼伦”蒙古语“水獭”之意、“贝尔”蒙古语“雄水獭”之意，呼伦湖和贝尔湖盛产水獭而得名。
5）巴彦淖尔；“巴彦”蒙古语“富饶”之意、“淖尔”蒙古语“湖泊”之意，因境内的淡水湖乌梁素海及众多的湖泊而得名。
6）通辽即通达辽东之意，原哲里木盟因会盟地哲里木山而得名。
7）鄂尔多斯是蒙古语“斡尔朵”的复数演变而来，即“宫殿群”之意。
8）赤峰蒙古语为“乌兰哈达”，以市区东北部赭红色山峰而得名。
9）乌兰察布蒙古语“红色崖口”之意，因会盟地四子王旗的红山口而得名。
10）锡林郭勒；“锡林”蒙古语“山丘”之意、“郭勒”蒙古语“河流”之意，因境内的锡林河而得名。
11）兴安蒙古语“山峦”之意，兴安盟因地处大兴安岭山脉中段而得名，
12）阿拉善蒙古语“五彩斑斓”之意，因境内特殊的沙丘地貌而得名。
1928年，民国政府先后设立了热河省、察哈尔省、绥远省和宁夏省，被称为塞北四省。绥远省面积32万平方公里，察哈尔省面积27万多平方公里，宁夏省面积为23万多平方公里，热河省面积则为17万多平方公里。
1935年12月20日，中华苏维埃中央政府发表《对内蒙古人民宣言》，提出“取消热、察、绥三行省之名称与实际行政组织”，恢复内蒙古历史上的本来面貌。
1949年新中国建立后，塞北四省出现了人口稀少、经济总量不足等问题。1952年，察哈尔省被撤销。随后，绥远省、宁夏省先后被撤销，1955年，热河省被撤销。塞北四省大部分辖区并入内蒙古自治区。
热河，源于流经承德市的哈伦郭勒（蒙古语为“热的河流”），因冬日不封冻而得名。1914年2月，北洋政府设立热河特别区，辖区域包括原直隶热河都统管辖的14个县，另将内蒙古卓索图盟的7个旗、昭乌达盟的12个旗并入。1928年9月17日，国民政府将热河改为省，辖15县和卓索图盟、昭乌达盟的共20个旗，省会设在承德县（现承德市）。
1933年3月，热河省被日本侵略军占领，划入满洲国。1945年8月，抗日战争胜利后，热河省恢复以前的行政区划。
1947年5月，增设宁城、凌南、鲁北、天山4县，辖20县20旗。包括： 承德县，滦平县，平泉县，隆化县，丰宁县，凌源县，朝阳县，阜新县，建平县，绥东县，赤峰县，开鲁县，林西县，围场县，经棚县，林东县，鲁北县，天山县，宁城县，凌南县，喀喇沁右翼旗，喀喇沁中旗，喀喇沁左翼旗，土默特右翼旗，土默特左翼旗，唐古特喀尔喀旗，锡埒图库伦旗，巴林右翼旗，巴林左翼旗，克什克腾旗，翁牛特左翼旗，翁牛特右翼旗，敖汉左翼旗，敖汉右翼旗，敖汉南旗，奈曼旗，喀尔喀左翼旗，札鲁特左翼旗，札鲁特右翼旗，阿鲁科尔沁旗。
1949年，热河省划分为2市、16县、4旗： 承德市、赤峰市；承德县、赤峰县、凌源、平泉、建昌、建平、宁城、围场、乌丹、青龙、隆化、丰宁、滦平、兴隆、北票、朝阳等16县及喀喇沁右旗、敖汉旗、翁牛特旗、喀喇沁左旗等4旗。
1955年7月30日，热河省建制撤销。原热河省所属承德市及承德、平泉、青龙、兴隆、滦平、丰宁、隆化、围场等8县划归河北省；建昌、凌源、建平、朝阳、北票等5县及喀喇沁左旗划归辽宁省；赤峰、乌丹、宁城3县及敖汉旗、喀喇沁旗、翁牛特旗3旗划归内蒙古自治区。
察哈尔，蒙古语“大汗护卫军”之意，起源于蒙古察哈尔部。1914年，北洋政府设置察哈尔特别区，特别区政府初驻张北县。辖直隶省口北道张北县、独石县（沽源县）和多伦县3县，绥远特别区兴和县、陶林县、丰镇县和凉城县，察哈尔部8旗，锡林郭勒盟10旗。后增设商都县、宝昌县、康保县、集宁县。
1928年改置为省，省会驻万全县。兴和、陶林、集宁、丰镇和凉城5县划入绥远省，并划入河北省旧口北道所辖10县：宣化、赤城、万全、怀来、蔚县、阳原、龙关、延庆、怀安、涿鹿。1948年，全省辖1市、19县、4行政督察区，18旗、1牧场，而旗隶属于锡林郭勒盟、察哈尔盟。
1949年，设雁北、察南、察北三个专区。雁北专区专署驻大同市。辖大同、阳高、广灵、灵邱、浑源、应县、怀仁、山阴（驻岱岳镇）、朔县、平鲁、右玉、左云等12县。（1952年雁北专区划归山西省）。察南专区专署驻宣化市。辖宣化、万全、龙关、赤城、四海（由热河省丰宁县西南部析置，以四海堡为名，驻汤河口）、延庆、怀来（驻沙城）、涿鹿、蔚县（驻西合营）、阳原、天镇、怀安（驻柴沟堡）等12县。1951年撤销四海县，并入热河省滦平县和察哈尔省延庆、赤城2县。1952年8月撤销察南专区，所属各县由察哈尔省直接领导。同年12月将宣化市及宣化、万全、龙关、赤城、延庆、怀来、涿鹿、蔚县、阳原、怀安等10县划归河北省；天镇县划归山西省。察北专区专署驻张北县。辖张北、康保、宝源（原宝昌、沽源合并）、多伦、崇礼（驻太平庄）、尚义、商都、化德等8县。1950年撤销宝源县，复设宝昌、沽源2县。将宝昌、化德、多伦3县划归内蒙古自治区。
1952年11月15日，根据察哈尔特殊的地理环境地广人稀、物产匮乏等原因，经原察哈尔省军区司令员王平将军的提议，中央人民政府政务院同意，决定撤销察哈尔省建制。划归河北省、山西省、内蒙古自治区和北京市。
3）绥远省
清朝绥远属漠南蒙古的一部分，因设有绥远驻军驻守此地，故名绥远。1914年1月，北洋政府设置绥远特别区，将山西省管辖的归绥道12县，改由绥远城将军管辖，归化城土默特左、右二旗，伊克昭盟和乌兰察布盟划归绥远特别区。1928年，民国政府改绥远省，省会为归绥（今呼和浩特），辖有3市、20县、18旗、4行政督察区。
1938年11月，设3行政督察区。第一区，专署驻归绥县，辖归绥、武川、萨拉齐、清水河、托克托、和林格尔6县。第二区，专署驻丰镇县，辖丰镇、集宁、凉城、兴和、陶林5县。第三区，专署驻五原县，辖五原、临河、包头、固阳、东胜、安北6县及安北设治局。1942年3月增领米仓县；4月改安北设治局为县，增领2设治局（后均升为县）。抗日战争时期省会为陕坝（今巴彦淖尔市杭锦后旗陕坝镇）。1947年6月，改划为4区，归绥县市由省府直辖。第一区，专署驻武川县，辖武川、包头、固阳、萨拉齐4县及包头市。第二区，专署驻集宁县，辖集宁、丰镇、凉城、兴和、陶林5县。第三区，专署驻东胜县，辖东胜、清水河、托克托、和林格尔4县。第四区，专署驻市，辖陕坝市及五原、临河、安北、米仓、狼山、晏江6县。
1949年10月，绥远省辖归绥、包头2市，丰镇、集宁、凉城、陶林、兴和、龙胜（由丰镇、集宁、凉城、陶林4县析置，驻卓资山）、归绥、武东（由武川县东部析置，驻旗下营）、武西（原武川县西部，驻武川县城）、和林格尔、清水河、托克托、萨县（即萨拉齐）、包头、固阳、五原、临河、安北、狼山（抗战期间新设县）、米仓（抗战期间新设县）、晏江（抗战期间新设县）、东胜等22县及镶红旗、镶蓝旗、正黄旗、正红旗、土默特独立旗、东公旗、中公旗、西公旗、茂明安旗、达尔罕旗、四子王旗、准格尔旗、达拉特旗、乌审旗、扎萨克旗、鄂托克旗、郡王旗、杭锦旗等18蒙旗。
1950年，分设绥东、绥中、绥西3专区及伊克昭盟蒙古族自治区、乌兰察布盟蒙古族自治区，直辖归绥、包头2市及土默特旗、东四旗中心旗、镶蓝镶红联合旗、正黄旗4旗（镶蓝镶红联合旗、正黄旗均由东四旗中心旗领导）。1951年绥东专区改名集宁专区，绥中专区改名萨县专区，绥西专区改名陕坝专区。
1954年3月6日，绥远省建制撤销，原辖区并入内蒙古自治区。
蒙古帝国征服了西夏国后，在原西夏的故地设立了行省，取名“宁夏”，意为“夏地安宁”。1928年10月17日，民国政府将宁夏道（即朔方道）旧属八县（即宁夏县、宁朔县、平罗县、中卫县、灵武县、金积县、盐池县和平远县）和宁夏护军使辖地（即阿拉善旗、额济纳旗）合并建为宁夏省。
1929年1月，宁夏省政府成立，省会设于宁夏县。又将阿拉善之巴格的磴口划置磴口县。1933年9月，划中卫县东部为中宁县。1941年4月1日，划宁夏、宁朔两县为永宁县，平罗县北增为惠农县、陶乐县，并将宁夏县改名为贺兰县。
1944年4月，增设银川市。
1945年8月，省会迁移至银川市，将灵武县属之吴忠镇改为吴忠市。新的宁夏领二旗九县：阿拉善旗、阿济纳旗；宁夏县、宁朔县、平罗县、中卫县、灵武县、金积县、盐池县、镇戎县（后改为预旺县、再改为同心县）、磴口县。增设香山、居延、紫湖三个设治局。
1947年，宁夏地方政府置银川市。此后，直到解放前夕，全区共增设达13县，1市、3设治局。
1949年12月23日，额济纳旗划由甘肃酒泉专区代管。1950年5月25日，甘肃省人民政府决定，原定西专区的西吉县、海原县划归平凉专区。
1952年5月，永宁县第四、第六两区及贺兰县第四区各一部划归银川市。8月15日，为增进民族团结，改阿拉善旗首府定远营为“巴音浩特”。
1954年9月，宁夏省建制撤销。
